中圖儀器白光干涉儀品牌廠家（SuperViewW系列）以以0.1nm核心分辨率為突破，結合白光干涉技術與智能化功能，解決材質(zhì)適配窄、精度不穩(wěn)定、粗糙度與輪廓度需分機測量、批量檢測效率低等測量難題。

中圖儀器0.005nm粗糙度RMS重復性白光干涉儀形貌重復性達0.1nm，臺階測量準確度僅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標準。基于白光干涉技術與復合型EPSI重建算法，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù)。

SuperViewW工業(yè)表面3D檢測白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperView W1系列納米級白光干涉三維形貌儀以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標準參數(shù)，一站式解決超精密測量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測效率低等測量難題。應用覆蓋半導體、3C電子等多行業(yè)場景，數(shù)據(jù)驅(qū)動檢測，賦能精密制造升級。

中圖儀器SuperView W系列0.1nm形貌重復性白光干涉儀一鍵完成單/多區(qū)域自動測量、批量分析，編程測量功能可預設流程實現(xiàn)一鍵操作，單個精細器件測量用時短，大幅提升檢測 throughput。

SuperViewW工業(yè)表面3D白光干涉檢測儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。