VT6000白光干涉共聚焦測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

NS系列高重復(fù)性大量程臺階儀臺階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好，精準(zhǔn)拿捏測量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。

中圖國產(chǎn)鎢燈絲掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。

CEM3000掃描式電子顯微鏡是一款臺式掃描電鏡，無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。

中圖儀器國產(chǎn)高靈敏度掃描電鏡搭配有多種探頭，能夠?qū)悠愤M行多種手段的分析。外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設(shè)計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時，中圖臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測，具有高空間分辨率。

SEM高精度科研檢測掃描電鏡操作系統(tǒng)簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。