0755-83318988
白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)與臺階儀的區(qū)別
2023-05-22 表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用，而且對一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷，對研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進加工方法等都有著顯著的意義。隨著微電子技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、計算機技術(shù)、傳感技術(shù)、信號分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展，對表面形貌測量精度不斷提高，從微米尺度進入了納米甚至是亞納米尺度。臺階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測量利器，但還是有所不同。1、測量方...共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè)，精準測量晶圓激光鐳射槽的三維輪廓
2023-05-04 半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片，然后再分割成各個單元，最后再進行封裝和焊接，因此對晶圓切割槽尺寸進行精準控制和測量，是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。共聚焦顯微鏡能應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝，能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學(xué)分辨率，通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細致觀察到晶圓表面的特征情況，例如：觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率，軟件自動捕捉特征邊緣進行二維尺寸快...智能化驅(qū)使下，中圖儀器光學(xué)3D成像測量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用
2023-04-21 3D成像技術(shù)實現(xiàn)了二維到三維的升級。智能化制造下，具有3D成像功能的機器視覺系統(tǒng)可以更快，更準確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場的組件。其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結(jié)構(gòu)測量最為基礎(chǔ)和重要的項目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運用非接觸式測量技術(shù)的3D光學(xué)檢測儀器，大多是基于光學(xué)方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現(xiàn)微納級測量，在微納米結(jié)構(gòu)檢測中有著重要意義。...關(guān)注公眾號，了解最新動態(tài)
當前位置：
技術(shù)文章
三坐標測量儀