產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺以突破性激光干涉技術(shù)，一站式解決高要求場(chǎng)景下的位置檢測(cè)難題。已在多個(gè)客戶端進(jìn)行精度驗(yàn)證：用差分干涉（DI）探頭對(duì)高精度納米位移臺(tái)進(jìn)行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位置控制精度。

光纖激光尺比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達(dá)原子層級(jí)（10nm=100個(gè)原子直徑！）以突破性激光干涉技術(shù)，一站式解決高要求場(chǎng)景下的位置檢測(cè)難題。PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺已在多個(gè)客戶端進(jìn)行精度驗(yàn)證：用差分干涉（DI）探頭對(duì)高精度納米位移臺(tái)進(jìn)行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位置控制精度。

一、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1.高精度

分辨率10nm（可拓展），線性測(cè)量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級(jí)測(cè)量需求。

環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對(duì)測(cè)量的影響，確保數(shù)據(jù)長(zhǎng)期穩(wěn)定。

2.靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復(fù)雜場(chǎng)景。

3.高穩(wěn)定性與便捷性

激光光源與探頭分離設(shè)計(jì)，3米鎧裝光纖連接，避免設(shè)備散熱干擾，安裝靈活。

體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險(xiǎn)。

4.廣泛適用性

最大量程4米（可拓展），支持動(dòng)態(tài)速度達(dá)2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測(cè)到高速運(yùn)動(dòng)場(chǎng)景。

二、測(cè)量功能

1.納米級(jí)信號(hào)輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號(hào)雙輸出，適配各類(lèi)控制器；

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境參數(shù)對(duì)測(cè)量的影響，數(shù)據(jù)長(zhǎng)期可靠；

3. 靈活安裝設(shè)計(jì)：激光主機(jī)與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠(yuǎn)離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測(cè)量支持：?jiǎn)屋S/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量；

5. 雙重使用模式：PLR3000系列10nm分辨率光纖激光尺既可作為激光干涉儀獨(dú)立測(cè)量，也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

三、典型應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺(tái)閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測(cè)量，提升加工精度與效率；

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度；

注：產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。