產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，一站式解決高要求場(chǎng)景下的位置檢測(cè)難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活"的測(cè)量體驗(yàn)。

中圖儀器PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，一站式解決高要求場(chǎng)景下的位置檢測(cè)難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活"的測(cè)量體驗(yàn)。

一、產(chǎn)品功能

1. 納米級(jí)信號(hào)輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號(hào)雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境參數(shù)對(duì)測(cè)量的影響，數(shù)據(jù)長(zhǎng)期可靠；

3. 靈活安裝設(shè)計(jì)：激光主機(jī)與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠(yuǎn)離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測(cè)量支持：?jiǎn)屋S/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量；

5. 雙重使用模式：PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺既可作為激光干涉儀獨(dú)立測(cè)量，也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

二、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案：相比鋼帶尺/玻璃光柵，柵距更精準(zhǔn)、分辨率更高，環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)一步保障數(shù)據(jù)穩(wěn)定性；

2. 定制化適配能力：支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出，根據(jù)客戶生產(chǎn)場(chǎng)景量身定制方案；

3. 降本增效屬性：體積小巧降低阿貝誤差，安裝快捷減少調(diào)試成本，動(dòng)態(tài)測(cè)量能力適配高速生產(chǎn)線；

4. 全周期可靠保障：激光校準(zhǔn)認(rèn)證加持，數(shù)據(jù)可追溯，滿足工業(yè)生產(chǎn)合規(guī)要求；

三、產(chǎn)品應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺(tái)閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測(cè)量，提升加工精度與效率；

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度；

注：產(chǎn)品參數(shù)將隨技術(shù)迭代優(yōu)化，相關(guān)內(nèi)容可能實(shí)時(shí)更新，恕不另行通知，敬請(qǐng)諒解。

如需了解參數(shù)細(xì)節(jié)、合作政策或獲取樣品測(cè)試，歡迎聯(lián)系中圖儀器，中圖專業(yè)團(tuán)隊(duì)為你賦能生產(chǎn)升級(jí)！