產(chǎn)品簡介

PLR3000數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，具有更高的穩(wěn)定性，安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

PLR3000數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，具有更高的穩(wěn)定性，安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

一、產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

（2）環(huán)境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。

2. 靈活配置

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現(xiàn)多自由度測量。

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復(fù)雜場景。

3. 高穩(wěn)定性與便捷性

（1）激光光源與探頭分離設(shè)計，3米鎧裝光纖連接，避免設(shè)備散熱干擾，安裝靈活。

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險。

4. 廣泛適用性

大量程4米（可拓展），支持動態(tài)速度達2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。

二、性能特點

1.超高精度

10nm高分辨率（支持外部拓展），PRO版線性精度達0.2ppm（普通版0.5ppm），穩(wěn)頻精度低至0.02ppm，相當(dāng)于4米測量距離誤差僅0.8μm，滿足納米級生產(chǎn)檢測需求；

2.全場景適配

量程4m（可按需拓展），動態(tài)測量速度支持2m/s，覆蓋從靜態(tài)實驗室檢測到高速生產(chǎn)線聯(lián)動的全場景；

3.環(huán)境抗干擾

一體化環(huán)境氣象站實時補償溫度（10-40℃）、氣壓（650-1150mbar）、濕度（0-95%無凝露）影響，實測在-10℃至45℃工況下，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性仍保持±0.1ppm以內(nèi)；

4.靈活安裝設(shè)計

激光主機（2.8Kg）與探頭（460-500g）分離，3m鎧裝光纖連接（可定制長度），狹小空間安裝無壓力，阿貝誤差降低60%以上。

三、應(yīng)用案例

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度；

PLR3000數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋光纖激光尺基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。