產品簡介

中圖儀器PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺解決測量精度不足、穩定性差、安裝受限、多軸測量難等難題，以突破性激光干涉技術，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領域打造“精準+高效+靈活"的測量體驗。

中圖儀器PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺納米級精準測量解決方案，解決測量精度不足、穩定性差、安裝受限、多軸測量難等難題，以突破性激光干涉技術，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領域打造“精準+高效+靈活"的測量體驗。

一、核心價值

1. 精度焦慮破解：10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級測量需求，杜絕加工誤差導致的產品報廢

2. 復雜工況適配：熱源隔離設計+環境實時補償，溫度/氣壓/濕度變化不影響數據穩定性

3. 效率成本雙升：多軸同步測量+快速安裝準直，減少設備調試時間，提升生產線流轉效率

4. 場景無界適配：4m大量程可拓展，動態速度支持2m/s，覆蓋靜態檢測到高速運動全場景

二、核心功能

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器

2. 全環境自適應：一體化環境氣象站，實時補償環境參數對測量的影響，數據長期可靠

3. 靈活安裝設計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現多自由度測量

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統實現閉環位置反饋控制

三、典型應用

1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環反饋，助力芯片制造良率提升

2. 航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性

3. 精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率

4. 科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數據精準度

四、核心優勢

1. 精度碾壓傳統方案：相比鋼帶尺/玻璃光柵，PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺柵距更精準、分辨率更高，環境補償技術進一步保障數據穩定性

2. 定制化適配能力：支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出，根據客戶生產場景量身定制方案

3. 降本增效屬性：體積小巧降低阿貝誤差，安裝快捷減少調試成本，動態測量能力適配高速生產線

4. 全周期可靠保障：激光校準認證加持，數據可追溯，滿足工業生產合規要求

五、專屬服務：B端客戶無憂合作保障

1. 定制化方案：按需提供探頭配置、量程拓展、環境補償單元等靈活選配，貼合實際生產需求

2. 專業技術支撐：1年質保+7×24小時全球技術團隊響應，快速解決現場安裝、使用難題

3. 認證背書：提供激光校準證書，確保測量數據精準合規，助力客戶通過行業審核

六、解鎖專屬測量方案

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注：產品參數將根據技術迭代持續優化，故本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。