產品簡介

中圖儀器SJ6000高速超精密單頻激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，在機床加工領域有著廣泛的應用。

中圖儀器SJ6000高速超精密單頻激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，在機床加工領域有著廣泛的應用。

SJ6000高速超精密單頻激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償等，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

產品功能

（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環境補償。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業專屬模板定制。

部分技術規格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。