產(chǎn)品簡介

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓檢測儀是以白光干涉技術(shù)為原理的白光干涉儀，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓檢測儀特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量，讓輪廓測量價格變實惠，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、面形輪廓、波紋度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。具有雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

性能特征

1、高精度、高重復(fù)性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測量精度和測量重復(fù)性。

2、一體化操作的測量分析軟件

測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，實現(xiàn)了快速批量測量的功能，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓檢測儀是以白光干涉技術(shù)為原理的白光干涉儀，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。