產品簡介

精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

一、產品介紹

SJ6000精密激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

二、產品配置

SJ6000精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

主要應用場合：

1. 線性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度；

2. 線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合；

三、應用實例

1、輕型線性鏡組附件應用實例：

2、可調轉向鏡 —— 斜軸的測量

可調轉向鏡本質是可實現旋轉調節的平面反射鏡，通過旋轉鏡面可將光束偏轉25°~90°的角度，通常用于斜軸的測量。

可調轉向鏡及其光路原理構建圖

3、可調轉向鏡應用實例：

斜床的傾斜軸測量

四、角度測量原理

1、角度反射鏡旋轉時產生轉角，或是移動過程中產生角擺，兩束反射光會有相對應的光程差產生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經過運算處理，即可得出對應的角度值。

角度測量的光路原理構建圖

2、角度測量配置及使用方法

角度測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足±10°范圍內的角度測量。

3、角度測量應用

主要應用于運動軸的角擺測量和轉軸的旋轉角度測量。

五、直線度測量原理

1、直線度干涉鏡在移動過程中產生橫向或縱向位移時，兩束反射光會有相對應的光程差產生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經過運算處理，即可得出對應的直線度值。

2、直線度測量配置及使用方法

直線度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足±3mm范圍內的直線度測量。

3、直線度附件

直線度附件由大角錐反射鏡、90度轉向鏡和直線度底座構成。

4、應用場合：

適用于直線度反射鏡不便于安裝在Z軸的上端或是運動軸的后端。

六、平行度測量原理

1、平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

2、平行度測量配置

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。

七、垂直度測量原理

1、垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整；光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

2、垂直度測量配置

垂直度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學直角尺）、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。Z軸的垂直度測量需增添直線度附件。

八、平面度測量原理

1、平面度的測量是在角度測量的基礎上進行的延伸。平面度測量一般采用“對角法"在平面上進行相應次數的角度測量，通過軟件算法可將角度的變化轉換為平面上高度的變化，進而得到整個平面的平面度。

2、對角線法又稱米字法，在平面度測量時，若激光干涉儀主機位于G點，激光束與線GE重合，建議按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序進行測量。

3、平面度測量配置

平面度測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。其中，平面度鏡組由180mm可調基板、360mm可調基板和平面度旋轉鏡構成。

九、回轉軸測量原理

1、回轉軸測量需借助WR50自動精密轉臺，與SJ6000角度測量配合使用。將WR50連接到回轉軸上，作為測角標準器，WR50可實現0~360°的角度測量范圍，±1″的測量精度，高轉速為10rpm。

2、假設回轉軸轉動了5°，相連的WR50則反轉5°，相對于SJ6000角度測量而言并未產生角度偏轉，基于該原理即可實現回轉軸0~360°的高精度測量。

3、回轉軸測量軟件會將WR50的角度值和SJ6000角度值合并進行計算，作為回轉軸實際轉動的角度值.

4、回轉軸測量配置及使用方法

回轉軸測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。

十、動態測量概述

1、SJ6000動態測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進行相應的線性、角度或直線度的動態測量與性能檢測。

2、動態測量包括基于時間的動態測量和基于距離的動態測量，SJ6000動態測量軟件可對動態測量數據進行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

3、動態測量應用

基于時間的動態測量

十一、產品功能特點

1. 精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

2. 功能廣

• 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

• 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

• 可實現對機床回轉軸的測量與校準；

• 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

• 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

• 支持手動或自動進行環境補償。

3. 軟件強

• 友好的人機界面；

• 豐富的應用功能模塊；

• 向導式的操作流程；

• 簡潔化的記錄管理；

• 支持中文、英文和俄文界面；

• 支持企業專屬模板定制。