共聚焦顯微鏡在光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)測量中的應(yīng)用

在當(dāng)前的液晶顯示器行業(yè)，TFT液晶面板因其顯示反應(yīng)速度更快更適用于動畫及顯像顯示的特點而得到廣泛應(yīng)用。作為配套組件的背光顯示模組，為其供應(yīng)充足且分布均勻的光源亮度，使得液晶面板的顯像功能能夠正常工作。液晶面板消費需求的不斷增長帶動了上游背光顯示模組和作為模組核心材料光學(xué)膜片的大量投產(chǎn)。

光學(xué)膜片作為背光顯示模組的核心材料，其對光線的匯聚效果決定著背光模組的效能，進(jìn)而直接影響著液晶面板的顯像效果。而光學(xué)膜片對光線的匯聚效果則是由分布在其表面的陣列微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸所決定，因而需要對微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸參數(shù)進(jìn)行檢測與管控，以滿足設(shè)計要求和確保最終液晶面板有著良好的顯像效果。

光學(xué)膜片

光學(xué)膜片工件具有尺寸大、輕薄的特點，其重心易受空氣流動而產(chǎn)生抖動，其表面呈透明反射率低的特征，且微結(jié)構(gòu)有微棱鏡結(jié)構(gòu)、微透鏡結(jié)構(gòu)和金字塔結(jié)構(gòu)等多種類型，均具備較大的傾角特征，整體輪廓尺寸又在微米量級因而精度要求到亞微米級。針對具有四個測量難點的光學(xué)膜片檢測需求，在微納級檢測儀器領(lǐng)域面臨著精度夠的角度測量能力不足、角度測量能力夠的精度無法滿足要求的窘境。

作為一家具備多款微納級3D顯微測量儀器的廠商，中圖儀器，為光學(xué)膜片的檢測，提供了專業(yè)的解決方案——VT6000共聚焦顯微鏡，搭配50×、100×高數(shù)值孔徑的APO復(fù)消色差物鏡。在測量時由于其基于鏡頭焦深的原理不會受到樣件本身輕微抖動的影響，同時高倍APO物鏡所具有的大角度測量能力搭配儀器自身納米級的掃描分辨率，能夠輕松實現(xiàn)透明表面微結(jié)構(gòu)的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測量，在下述視頻中可直觀的了解光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)的測量過程。

從視頻中可知，中圖儀器共聚焦顯微鏡能夠?qū)鈱W(xué)膜表面微結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速自動化測量，并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對表面質(zhì)量進(jìn)行表征，幫助客戶實現(xiàn)光學(xué)膜片表面質(zhì)量的檢測與管控。

如下圖所示，在實現(xiàn)表面微結(jié)構(gòu)3D圖像的高精度重建與測量的同時，共聚焦顯微鏡以其明顯優(yōu)于金相顯微鏡的橫向分辨率，也能夠提供表面微結(jié)構(gòu)的清晰影像圖片，幫助更細(xì)致的觀察微結(jié)構(gòu)的表面特征，從圖像可知，在高倍率鏡頭下，棱鏡峰側(cè)壁的刀具磨損紋路痕跡明顯，金字塔頂和底部界限分明，微透鏡表面粒子邊緣清晰。

光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)3D圖像、影像圖

隨著液晶顯示屏在朝著輕薄化、高清化的方向發(fā)展，其核心材料光學(xué)膜片也在往薄型化、高亮度化、高色域化的方向發(fā)展，屆時其表面微結(jié)構(gòu)的特征尺寸也將更加多樣化和小型化，這勢必將對測量儀器提出更高的要求。中圖儀器，將不斷迭代最新的光學(xué)測量技術(shù)，不斷提升VT6000共聚焦顯微鏡的產(chǎn)品性能，始終滿足客戶的測量要求，為客戶提供產(chǎn)品方案和服務(wù)。

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中圖儀器是一家專業(yè)的幾何量測量儀器制造商，旗下有專門的微納檢測儀器事業(yè)部，目前有SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀、VT6000系列共聚焦顯微鏡、CP系列臺階儀等三大類納米級3D測量產(chǎn)品。憑借著多年在客戶端應(yīng)用場景下的錘煉，在3D顯微測量領(lǐng)域積累了豐富的開發(fā)與應(yīng)用經(jīng)驗。多年的自主開發(fā)工作，公司在納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、尼普科夫轉(zhuǎn)盤共聚焦系統(tǒng)、超分辨率電容傳感掃描技術(shù)、超大區(qū)域無縫縫合技術(shù)等多個涉及到光、機(jī)、電、算交叉學(xué)科的領(lǐng)域積累了雄厚的技術(shù)實力。參與過多項國家重大科研項目的攻關(guān)工作并順利通過驗收。作為一家銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全國的微納檢測儀器制造商，中圖儀器始終致力于為客戶提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品解決方案。