激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
激光干涉儀的功能特性：
(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。
(2)利用多普勒效應，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。
(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。
用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初僅用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。但由于在一般機床上使用感應同步器和光柵一般能達到精度要求，而激光儀器的抗振性和抗環(huán)境的干擾性能差，且價格較貴，目前在機械加工現(xiàn)場使用較少。
更新時間：2022-06-20
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三坐標測量儀